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「成膜加工」

膜種によりますが2インチから450mmウェーハへの成膜が可能です。

酸化膜系：熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG、BSG、LP-CVD、PE-CVD

窒化膜系： HCD-SiN、DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN 、LP-CVD、PE-CVD

金属膜系： TaN、Ta、Cu、Al、AlN、Al-Si、Al-Si-Cu、Ni、W、W-Si-Cu

その他 Poly-Si、a-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系）、グラフェン膜、グラファイト


＊SiO2,SiN,SiONなど膜種により1枚からでも対応が可能です。

＊Suputter成膜にてTi,Cu,Cr,Niなど対応可能です。

＊レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ〜12インチまで対応可能です。通常より厚い100u程度のレジスト膜なども対応可能です。

＊テストパターン付ウェーハ（6インチから12インチ）も仕様により一貫で対応致します。

＊レチクルご支給による、露光/エッチングも承ります。（8インチと12インチ）

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