CZ・MCZシリコンウェーハ
半導体製造装置メーカー・大学・研究所等で使われるプライム・テスト・モニター用ウェーハ・高精度ウェーハ・拡散ウェーハ・エピウェーハ・パーティクル管理されていないコインロールウェーハまで幅広く扱っております。
直径:1インチから450mm
タイプ:p型、n型
方位:<100>、<111>、<110>、<112>、<510> *直径によりますが特殊な方位にも対応可能です。
抵抗:ご相談ください
仕上げ:ご相談ください
厚さ:ご相談ください
パーティクルサイズ:ご相談ください
ライフタイム:保証できるウェーハもございますのでお問い合わせください。
数量:基本的に25枚/カセットになりますが、在庫状況により少量対応可能です。
高透過率多結晶シリコンウェーハ
FZと同等に酸素濃度を低く抑えた多結晶ウェーハで遠赤外線領域ではFZと同等の透過率です。
直径は4,5,6インチで、インゴット、ウェーハ、その他様々な形状にも対応可能です。
その他
規格外品ウェーハ、コインロールウェーハ、シリコンインゴット、割れ、カケなどのシリコンスクラップもご紹介可能です。
在庫ご紹介
1)12インチ方位<110>EPI付きウェーハ(経過品)
直径:12インチ
厚さ:775+/-25um
タイプ:P型
方位:<110>
抵抗:0.005-0.01 ohm cm
仕上げ:両面鏡面(片面にEPI膜がついています)
梱包:25枚/パック済みカセットケース入り
*2006年製造のウェーハですが、結晶軸が<110>です。
2)シリコンパウダー
純度:5N 以上
サイズ:-100 mesh
梱包:1kg/パック
*参考値:Fe: Max.2ppm程度 Cr: Max.1ppm程度 Mg: Max.0.5ppm程度 Ni: Max.0.5ppm程度
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