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半導体用ウェーハのお問い合わせは是非当社へ。

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〒102-0072 東京都千代田区飯田橋1-4-1

サービス/製品一覧SERVICE&PRODUCTS

「エピ受託加工」

エピの受託加工を承っております。
小ロットからの対応も致しますので、MEMSの試作にもお使いいただけます。お気軽にお問合せ下さい。

特徴
・実験用に小ロット(25枚)から可能        
・サブウェーハご指定も可能
・エピ厚さ公差:6-10%以内(エピ厚さにより変わります)
・抵抗均一性公差:5-15%以内(抵抗により変わります)

直 径:3インチから8インチ
ドーパント:Boron, Phosphine, Arsenic
エピ抵抗率:0.1-800 ohm cm
エピ厚さ:3-150μ



バナースペース

株式会社エナテック

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